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本文主要探討氧化鋯材料相變韌化機制與離子導電性之應用,利用臨場同步輻射X光繞射-(循環)應力試驗、拉曼光譜與穿透式電子顯微鏡等手法分析存在於共摻雜適當含量氧化釔(Y2O3)、氧化鈮(Nb2O5)和氧…
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本研究的目的在於探討光阻層上蒸鍍一層金屬層之近場光學微影點加工的技術,藉由光學模擬分析金屬層之特性,並且以定性分析來證明此技術能有效地縮小光阻層上得記號寬度與半高寬。 此技術是將一層薄薄(約…